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直径 100mm
类型/掺杂 P/Boron N/(Phos,Sb,As)
硅片厚度 525um或可定制
晶向 <100><110><111>或可定制
金厚度 可定制
电阻率 0.001 - 100Ω.cm/ > 100Ω.cm/>1000Ω.cm/>10000Ω.cm
表面粗糙度 <0.5纳米 < 0.1纳米
标签 4英寸镀铝单晶抛光硅片