高纯锑化铟单晶片

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高纯锑化铟单晶片 InSb晶圆 本征/Te掺杂N型/Ge掺杂P型 单双面抛光 <100><111>晶向 3-5μm中波红外探测器外延衬底 超高迁移率霍尔传感器磁阻器件 高频高速半导体 科研实验可定制尺寸

一、产品简介

本款锑化铟(InSb)单晶片是**超高迁移率窄带隙III-V族化合物半导体核心基材**,采用先进**液封直拉法(LEC)/垂直梯度凝固法(VGF)** 生长高完整性原生单晶锭,全程百级无尘车间精密制程,经精密切片、均匀研磨、CMP化学机械超镜面抛光精制而成。产品严格管控晶体位错密度、晶格均匀性、厚度公差与表面洁净度,无崩边、无划痕、无晶格缺陷、无应力残留,表面达到外延级EPI洁净标准,可直接用于MBE、MOCVD外延生长、量子阱制备、精密光刻、镀膜刻蚀等高端精密制程。
锑化铟是目前商用半导体中**电子迁移率极高、红外探测性能顶尖**的优质材料,室温禁带宽度仅0.17–0.18eV,为直接带隙结构,精准适配**3–5μm中波红外核心探测波段**,是制冷型红外焦平面探测器的核心感光基底。其室温电子迁移率可达78000cm²/(V·s),远超硅、砷化镓、砷化铟等常规材料,具备极小电子有效质量、超快载流子响应、极强磁阻效应、灵敏度高等独特优势。广泛应用于军工红外探测、航空航天光电系统、高精度霍尔传感器、磁阻器件、超高速高频微电子器件,全面覆盖高校科研实验、企业工艺调试、新品研发与工业规模化量产全场景。

二、核心材质与工艺优势

生长工艺:采用成熟稳定的LEC液封直拉与VGF垂直梯度凝固复合工艺,单晶生长应力极低、晶体完整性优异、位错密度低、组分均匀性极佳,从根源减少晶格畸变、层错与杂质偏析问题,晶格品质稳定,完美适配InSb基多元合金、超晶格、量子阱外延生长,大幅提升红外探测芯片与磁电器件的生产良率与一致性。
晶体结构:标准闪锌矿立方单晶结构,晶格常数6.48Å,介电常数17.7,晶体结构稳定、晶格匹配性优异,可适配各类锑化物外延体系,是制备高性能中波红外探测阵列、量子传感、磁电耦合器件的专属核心基底。
核心性能:拥有行业顶尖超高电子迁移率,载流子响应速度极快,高频信号传输损耗极低,适配超高速、超高频微电子器件工况;窄带隙特性造就优异的3–5μm中波红外感光能力,液氮制冷下探测灵敏度极高、成像画质清晰;具备显著的巨磁阻效应,磁电转换精度高、灵敏度强,是高精度磁传感、电流检测、磁场探测的首选材料;同时热稳定性良好、器件漏电低、抗干扰性强,适配高端精密设备严苛使用场景。
精密加工:全程无尘车间标准化生产,精密切片、双面均匀研磨、0.3–0.5mm精密圆弧防护倒角,彻底杜绝崩边、裂边、掉粉破损;搭配高端CMP超镜面抛光工艺,表面达到纳米级超低粗糙度,平整度优异、无麻点无划伤,表面洁净度达标外延级标准,完全满足高精度外延、多层薄膜沉积、精密光刻刻蚀等深加工需求。

三、核心规格参数(选购核心)

1、导电类型 & 掺杂特性(全品类现货)

本征/非掺InSb(高纯科研级):6N超高纯无掺杂,电性均匀、晶体缺陷极少、内部应力极低,无杂质能级干扰,光电、磁电性能纯净稳定,适用于量子物理研究、红外机理实验、磁阻效应研发、高端光学精密探测等前沿科研场景。
N型锑化铟(Te碲掺杂·工业主流):载流子浓度可控、超高迁移率、高频与磁电性能稳定,器件一致性强、重复性好,是超高速高频晶体管、高精度霍尔传感器、磁阻器件、红外光电探测阵列的核心量产衬底。
P型锑化铟(Ge锗掺杂):P型导电特性稳定,PN结制备精度高,光电转换均匀性好,适配中波红外激光器、红外探测芯片、特种光电耦合器件、新型磁电器件研发与制备。

2、标准晶向

现货主流晶向:<100>、<111>,定向精度±0.5°;支持定制2°/4°/6°外延偏角晶向,精准适配超晶格、多量子阱、异质结等各类精密外延生长工艺,满足不同器件制程需求。

3、现货尺寸规格(方形片/圆形晶圆全覆盖)

方形单晶片(科研试样/实验调试常用)

尺寸:5×5mm、10×10mm、15×15mm、20×20mm、25×25mm 厚度:0.2mm、0.35mm、0.5mm、1.0mm、2.0mm,厚度公差±20μm,支持任意非标尺寸、异形切割定制

圆形标准晶圆(工业量产/外延工艺常用)

尺寸:2英寸(50.8mm)、3英寸、4英寸(工业主流) 常规厚度:350μm、500μm、625μm、650μm、700μm,厚度均匀性优异,适配全自动晶圆切割、镀膜、光刻、外延量产设备

4、表面工艺可选

单抛(SSP):单面超镜面抛光、背面精细磨砂研磨,性价比高,表面洁净达标,适合科研试样、基础性能测试、工艺调试、实验预处理等场景。
双抛(DSP):双面超镜面抛光,无应力、无缺陷、纳米级超低粗糙度、超高平整度,达到外延级EPI标准,是红外探测芯片、磁电器件、超高频微电子器件精密量产的首选。
研磨毛坯片:双面磨砂未抛光,适合二次切割、定制打磨、低成本工艺摸索、实验预处理,大幅降低科研试样成本。
细节工艺:全系产品统一精密圆弧倒边处理,彻底杜绝崩边、裂边、掉粉问题,适配精密设备夹持、自动化加工与多层外延工艺。
 

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